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本文標題:"增強電子穿透試片的能力-TEM與SEM顯微鏡的功能"

發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------ 人瀏覽過-----時間:2013-1-18 23:40:32

 近年來TEM與SEM的功能大大的提升,而TEM主要發(fā)展方向為:

 
(一)提高鑒別率
提升鑒別度,使點與點間之鑒別率為1.8Å、線與線間1.4Å。以其超越廠商對解析力最低要求。
 
電子顯微鏡中心的1000 keV原子分辨電子顯微鏡(atomic resolution electron microscope,AREM)
對點與點間之分辨率高達1.7Å,已可直接觀察晶體中的原子。
 
(二)提昇高壓電
增強電子穿透試片的能力,即可觀察具代表性試片;
更可透過臨場直接觀察輻射損傷試片的程度;降低散色像差(chromaticaberration),提升解析度等

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