本文標題："光學(xué)成像配合影像測量軟件-專業(yè)影像測量工具顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------
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光學(xué)成像機制搭配像散式量測系統(tǒng)（ADS）可成為一套完整之光學(xué)量測平臺。
此成像機制可觀察量測光點以及物體表面之微小結(jié)構(gòu)間之距離關(guān)系，
搭配一致動器可將ADS之量測光點對焦于物體表面上微小結(jié)構(gòu)之不同區(qū)域，并量測此結(jié)構(gòu)之高度角度及其變化。
可能的應(yīng)用范圍：
1. MEMS元件制程良率檢測
2. 光學(xué)表面輪廓儀應(yīng)用。
3. 以懸臂樑為基礎(chǔ)之生化感測器量測應(yīng)用
優(yōu)點：
1. 大幅縮短像散式量測系統(tǒng)之雷射光點瞄準時間
2. 提升像散式量測系統(tǒng)之使用方便性
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