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本文標題："材料科學以及材料微觀結構觀察金相顯微鏡"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2013-7-13 5:6:52

材料科學以及材料微觀結構觀察金相顯微鏡

利用直流濺鍍成功地從材料科學的角度切入，將材料結構、性質及制程間的相

互關系連結起來，達到掌控薄膜工藝制程，

進而改變薄膜微結構，經由改變濺鍍原子入射通

量方向的斜向鍍著技術，能產生分立柱狀、

ㄑ型及多彎折形等具有不同顯微形貌的薄膜，

其相互之間或與正向鍍著的微結構及表面形貌皆因遮蔽效應而有所不同，

此外α與β關系上的研究顯示，前人利用蒸鍍法所獲得tangentrule 及cosine rule 的兩種理論，

本研究驗證

此兩種理論于低的工作氣壓下亦可適用于濺鍍法

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