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本文標題："微元件尺寸測量影像測量儀廠商-光學式測量顯微鏡"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2013-5-9 17:48:26

什么是複合壓力微感測元件

複合壓力微感測元件，根據矽半導體微加工技術，

單一感測體包含四組惠斯頓感測電橋，每一組電橋有四個壓阻感測器分佈于量測薄膜上，薄膜厚度為20 μ m ，寬度為120 μ m ，

元件最佳應力響應值為0.417MPa/mmHg ，最大量測范圍為300mmHg ，模擬靈敏度可達77.17 μ V/V/㎜Hg ，

完成之微元件尺寸為6.5 ㎜×6 ㎜×0.7 ㎜。微感測體個別壓阻值量測誤差小于3%；當溫度介于25 ℃~55 ℃時，

電阻值對溫度之非線性度誤差小于2%，可應用于醫療診斷，亦可應用于產業與日常生活相關之力與壓力之感測與量測。

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