本文標(biāo)題："柱狀微結(jié)構(gòu)的表面輪廓量測(cè)可以使用那些儀器"
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柱狀微結(jié)構(gòu)的表面輪廓量測(cè)可以使用那些儀器
柱狀微結(jié)構(gòu)在 40X 物鏡下的光學(xué)顯微鏡觀察影像，是以差動(dòng)共焦顯微術(shù)系統(tǒng)進(jìn)行掃瞄，
以 632.8 nm 波長(zhǎng)的雷射光源，搭配數(shù)值孔徑 0.65 的 40X 物鏡。圖六(c)
是沿著(b)圖中的虛線所得到的縱向剖面數(shù)據(jù)分析，可以得到柱狀結(jié)構(gòu)的直徑與高度。由于
柱狀微結(jié)構(gòu)深寬比大，且分佈密度高，一般的探針式表面量測(cè)技術(shù)，例如探針表面輪廓儀
或原子力顯微鏡(AFM)、
探針式掃瞄顯微鏡(SPM)，由于針尖形狀與掃瞄機(jī)制受限，對(duì)于此類型的樣品，無(wú)法提供準(zhǔn)確且不具傷害性的量測(cè)結(jié)果。
一般若要量測(cè)高深寬比或高週期密度的微米尺度元件，都需要采用 SEM，然 SEM 造價(jià)高昂且操作不易。而差動(dòng)式共焦顯微
術(shù)的微米級(jí)動(dòng)態(tài)范圍與奈米尺度的縱向解析度，與光學(xué)技術(shù)的非接觸表面量測(cè)特性，對(duì)于
柱狀微結(jié)構(gòu)的表面輪廓量測(cè)，提供了新的解決方案
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