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本文標題："超光滑表面微觀形貌檢測儀器分析電子顯微鏡"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2016-12-7 4:45:9

超光滑表面微觀形貌檢測儀器分析電子顯微鏡

超光滑表面微觀形貌檢測儀器分析與選擇

目前，超精密表面形貌的測量與評定已成為國內外學者研究的

重要方向。由于近年超精密表面測量儀器和測量方法的逐步完善，

使得納米級表面測量技術快速發展起來，但是隨之問題也逐漸暴露

出來。由于對超精密表面的檢測沒有統一的標準和測量儀器，用不

同測量儀器檢測的結果差異很大，無法斷定哪一種方法測得的表面

形貌更接近真實表面、可信度更高。因此，需要對常用檢測超精密

表面微觀形貌的方法與儀器原理、性能進行分析論述，分析這幾種

測量儀器的誤差成因．空問分辨率及適用范圍，以期能找到滿足測

量要求的儀器，得到比較可靠的測量結果，為準確地測量超精密表

面提供依據。

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