歡迎來到上海光學儀器一廠

本文標題："實驗檢測用電子顯微鏡-分辨率非常高的表面特征"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2014-8-19 5:15:15

實驗檢測用電子顯微鏡-分辨率非常高的表面特征

由于大多數試樣在通常狀態下，對直接用于研究來說都不夠薄，

因此減薄試樣是透射電子顯微鏡實驗程序中的重要一環.如果需要

研究的是比較厚的復合材料中的單個薄層，

則寧可采取剝層而不是減薄的辦法.例如，若要研究集成電路中200

埃厚的N i/Cr電阻器的結構時，則可先從電路塊背面相繼去除一個

小區域中的硅和氧化硅，并從正面去除保護授蓋層.于是電阻膜將

由沒有去掉的硅支撐著:

這樣可以固定整個組件以供檢測.只有當需要分辨率非常高的表

面特征時才應該使用表面復型法，否則掃描電子顯微鏡更為便

利.

tags:技術,金相顯微鏡,上海精密儀器,

實驗檢測用電子顯微鏡-分辨率非常高的表面特征,金相顯微鏡現貨供應