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本文標題：" 精細零件測量用便攜式光學顯微鏡制造廠商"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2014-2-26 13:24:55

精細零件測量用便攜式光學顯微鏡制造廠商

顯微干涉輪廓儀結構的主要要求，是放被檢零件的工作臺和干涉

頭聯結的剛性要好，必須保證干涉條紋對振動的靈敏度為最小。在調

整機構方面，三個相互垂直方向精密移動被檢表面13和繞其兩軸轉動，

要求有很靈巧的機構設計。另外，為了使兩路相干光束的光程相等，

沿光軸方向精密移動物鏡和棱鏡也值得注意。

帶有光譜分光鏡的顯微干涉輪廓儀為了檢驗外圓磨表面的微觀幾

何形狀（其加工痕跡是不規則的），

小型光譜分光鏡或光譜目鏡代替干涉顯微鏡的目鏡，并在被檢表

面的像平面上，安放一個狹縫光闌。按這種光學系統設計了顯微干涉

輪廓儀

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